| Fase de solicitud | Componentes cerámicos | tipo de material |
| portadores de obleas, bandejas | Cerámicas de nitruro de aluminio y alúmina. | Alta conductividad térmica y aislamiento. |
| Revestimiento de cavidad de grabado/deposición | Cerámicas de nitruro de silicio y alúmina. | Resistencia a la corrosión por plasma |
| Ventosa de vacío (Chuck) | Cerámicas de alúmina y nitruro de aluminio. | Estable, plano y resistente al desgaste |
| Etapa de adsorción electrostática (ESC) | Cerámica de nitruro de aluminio | Excelente conductividad térmica |
| Soporte de medición de temperatura y aislamiento. | cerámica de alúmina | Buen aislamiento eléctrico y resistencia a la temperatura. |
| Componentes estructurales de guiado, sellado y aislamiento térmico. | Cerámica de circonio | Alta resistencia y tenacidad |

Cerámica de alúmina de alta pureza: pureza ≥99,9%, que cumple con los requisitos para cámaras de vacío ultralimpias;
Cerámicas de nitruro de aluminio de alta conductividad térmica: conductividad térmica de hasta 170–280 W/m·K, lo que ayuda a optimizar los sistemas de control térmico;
Cerámica de circonio de alta tenacidad: utilizada para piezas mecánicas móviles y estructuras de sujeción de precisión;
Cerámica de nitruro de silicio: combina alta resistencia y bajo coeficiente de expansión térmica, adecuada para condiciones de trabajo complejas.

4. Haikun Precision Ceramics: fabricante profesional de componentes cerámicos para equipos semiconductores.
Dongguan Haikun New Materials Co., Ltd. ha estado profundamente involucrado en el campo de la cerámica industrial durante más de 20 años, enfocándose en la investigación, el desarrollo y el procesamiento de componentes estructurales cerámicos personalizados no estándar. La compañía se adhiere estrictamente al sistema de calidad ISO9001:2015 y posee procesos de rectificado CNC, corte por láser, mecanizado CNC y sinterización al vacío de alta precisión, brindando a los clientes de la industria de semiconductores soluciones integradas desde la selección de materiales y la optimización estructural hasta la producción en masa.
Principales áreas de servicio:
Componentes aislantes cerámicos, componentes guía y bases de ventosa para equipos semiconductores.
Revestimientos de cámaras de vacío, bandejas de transporte y componentes de sellado y aislamiento térmico
Mecanizado de precisión basado en materiales, dibujos y muestras suministrados.
Ventajas de la cooperación:
Más de 5000 estudios de casos de clientes validados
Propia fábrica de 10.000 metros cuadrados, tiempo de entrega controlable
El equipo de ingeniería técnica proporciona optimización de la solución de materiales.
