Hubungan antara seramik dan semikonduktor: wira unsung yang menyokong pembangunan berteknologi tinggi.

2025 11/07

1. Mengapa seramik dapat memasuki medan semikonduktor?

Proses pembuatan semikonduktor memerlukan tahap kebersihan dan kestabilan yang sangat tinggi. Bahagian logam terdedah kepada pencemaran partikulat, dan bahagian plastik tidak dapat menahan suhu tinggi dan kakisan plasma. Bahan seramik ketepatan (seperti alumina, zirkonium oksida, silikon nitrida, dan aluminium nitrida) dengan sempurna mengisi jurang ini.

Ciri -ciri teras bahan seramik termasuk:

Penebat Tinggi: Mencegah kebocoran semasa dan memastikan penghantaran isyarat yang stabil;

Rintangan suhu tinggi: Mengekalkan kekuatan struktur dalam persekitaran melebihi 1600 ℃ (seramik alumina);

Rintangan kakisan: Menentang gas etsa kimia dan hakisan plasma;

Kesucian yang tinggi dan pemendakan yang rendah: mengelakkan pencemaran sekunder wafer;

Ketepatan Dimensi Tinggi: Memenuhi keperluan pemasangan peralatan proses nanoscale.

2. Aplikasi utama seramik dalam pembuatan semikonduktor

Komponen seramik hampir ada di mana -mana peralatan dan proses pembuatan semikonduktor:

Fasa permohonan	Komponen seramik	Jenis Bahan
Pembawa wafer, dulang	Aluminium Nitride dan Seramik Alumina	Kekonduksian terma yang tinggi dan penebat
Etching/Deposition Liner Cavity	Silicon Nitride dan Seramik Alumina	Rintangan kakisan plasma
Piala Suction Vacuum (Chuck)	Seramik alumina dan aluminium nitrida	Stabil, rata, dan tahan haus
Tahap Adsorpsi Elektrostatik (ESC)	Aluminium Nitride Ceramics	Kekonduksian terma yang sangat baik
Pengukuran suhu dan sokongan penebat	Seramik Alumina	Penebat elektrik dan rintangan suhu yang baik
Membimbing, pengedap, dan komponen struktur penebat haba	Seramik Zirkonia	Kekuatan dan ketangguhan yang tinggi

Ia boleh dikatakan bahawa, dari komponen teras ke bahagian tambahan, seramik ketepatan adalah "asas struktur" untuk operasi peralatan semikonduktor yang boleh dipercayai.

3. "ikatan mendalam" seramik dan semikonduktor

Memandangkan proses pembuatan cip maju dari 28nm dan 7nm hingga 3nm dan nod yang lebih maju, keperluan untuk ketahanan peralatan, kebersihan, dan prestasi pengurusan terma menjadi semakin ketat, memacu evolusi berterusan bahan seramik.

Seramik alumina kemelaratan tinggi: kesucian ≥99.9%, memenuhi keperluan untuk bilik vakum ultra-bersih;

Seramik aluminium nitrida aluminium yang tinggi: kekonduksian terma setinggi 170-280 W/m · K, membantu pengoptimuman sistem kawalan terma;

Seramik zirkonia tinggi: Digunakan untuk bahagian bergerak mekanikal dan struktur pengapit ketepatan;

Silicon Nitride Seramik: Menggabungkan kekuatan tinggi dan pekali pengembangan terma yang rendah, sesuai untuk keadaan kerja yang kompleks.

4. Haikun Precision Ceramics - Pengilang profesional komponen seramik untuk peralatan semikonduktor.

Dongguan Haikun New Materials Co., Ltd. telah terlibat dalam bidang seramik perindustrian selama lebih dari 20 tahun, memberi tumpuan kepada penyelidikan dan pembangunan dan pemprosesan komponen struktur seramik yang tidak disesuaikan. proses, menyediakan pelanggan industri semikonduktor dengan penyelesaian bersepadu dari pemilihan bahan dan pengoptimuman struktur kepada pengeluaran besar -besaran.

Kawasan Perkhidmatan Utama:

Komponen penebat seramik, komponen panduan, dan pangkalan cawan sedutan untuk peralatan semikonduktor

Liner ruang vakum, dulang pembawa, dan komponen penebat haba dan haba

Pemesinan ketepatan berdasarkan bahan, lukisan, dan sampel yang dibekalkan

Kelebihan kerjasama:

5000+ kajian kes pelanggan disahkan

Memiliki kilang 10,000 meter persegi, masa penghantaran yang dikawal

Pasukan Kejuruteraan Teknikal Menyediakan Pengoptimuman Penyelesaian Bahan

Kesimpulan

Perkembangan teknologi semikonduktor sangat bergantung pada sokongan bahan seramik.

Dari "peranan sokongan yang tidak dapat dilihat" kepada "tiang utama," seramik ketepatan secara senyap -senyap memandu setiap kejayaan dalam pembuatan cip.

Dan Seramik Precision Haide akan terus menyumbang kepada inovasi industri semikonduktor dan operasi yang boleh dipercayai dengan komponen seramik berprestasi tinggi.

Sebelumnya:Kenapa semakin banyak syarikat yang memilih pembuangan seramik dan bukannya logam?

Seterusnya:Alumina Seramik Alumina Tinggi Tinggi untuk Industri