| Faza aplikacji | Elementy ceramiczne | Rodzaj materiału |
| nośniki wafli, tacki | Ceramika z azotku glinu i tlenku glinu | Wysoka przewodność cieplna i izolacja |
| Wytrawianie/odkładanie wyściółki wnęki | Ceramika z azotku krzemu i tlenku glinu | Odporność na korozję plazmową |
| Przyssawka próżniowa (uchwyt) | Ceramika z tlenku glinu i azotku glinu | Stabilny, płaski i odporny na zużycie |
| Etap adsorpcji elektrostatycznej (ESC) | Ceramika z azotku glinu | Doskonała przewodność cieplna |
| Pomiar temperatury i wsparcie izolacji | ceramika z tlenku glinu | Dobra izolacja elektryczna i odporność na temperaturę |
| Elementy konstrukcyjne prowadzące, uszczelniające i termoizolacyjne | Ceramika cyrkonowa | Wysoka wytrzymałość i wytrzymałość |

Ceramika z tlenku glinu o wysokiej czystości: czystość ≥99,9%, spełniająca wymagania dla ultra czystych komór próżniowych;
Ceramika z azotku glinu o wysokiej przewodności cieplnej: przewodność cieplna do 170–280 W/m·K, pomagająca w optymalizacji systemów kontroli termicznej;
Ceramika cyrkonowa o wysokiej wytrzymałości: stosowana do ruchomych części mechanicznych i precyzyjnych konstrukcji mocujących;
Ceramika z azotku krzemu: łącząca wysoką wytrzymałość i niski współczynnik rozszerzalności cieplnej, odpowiednia do skomplikowanych warunków pracy.

4. Haikun Precision Ceramics – Profesjonalny producent elementów ceramicznych do sprzętu półprzewodnikowego.
Dongguan Haikun New Materials Co., Ltd. od ponad 20 lat jest głęboko zaangażowana w branżę ceramiki przemysłowej, koncentrując się na badaniach, rozwoju i przetwarzaniu niestandardowych, dostosowanych do indywidualnych potrzeb ceramicznych elementów konstrukcyjnych. Firma ściśle przestrzega systemu jakości ISO9001:2015 i posiada precyzyjne procesy szlifowania CNC, cięcia laserowego, obróbki CNC i spiekania próżniowego, zapewniając klientom z branży półprzewodników zintegrowane rozwiązania, od doboru materiałów i optymalizacji strukturalnej po masową produkcję.
Główne obszary usług:
Ceramiczne elementy izolacyjne, elementy prowadzące i podstawy przyssawek do sprzętu półprzewodnikowego
Wkładki do komór próżniowych, tace nośne oraz elementy uszczelniające i termoizolacyjne
Precyzyjna obróbka na podstawie dostarczonych materiałów, rysunków i próbek
Zalety współpracy:
Zatwierdzono ponad 5000 studiów przypadków klientów
Własna fabryka o powierzchni 10 000 metrów kwadratowych, kontrolowany czas dostawy
Zespół inżynierów technicznych zapewnia optymalizację rozwiązań materiałowych
