| Fase de candidatura | Componentes cerâmicos | Tipo de material |
| transportadores de wafer, bandejas | Cerâmica de nitreto de alumínio e alumina | Alta condutividade térmica e isolamento |
| Forro de cavidade de gravação/deposição | Cerâmica de nitreto de silício e alumina | Resistência à corrosão plasmática |
| Ventosa a vácuo (Chuck) | Cerâmica de alumina e nitreto de alumínio | Estável, plano e resistente ao desgaste |
| Estágio de adsorção eletrostática (ESC) | Cerâmica de nitreto de alumínio | Excelente condutividade térmica |
| Medição de temperatura e suporte de isolamento | cerâmica de alumina | Bom isolamento elétrico e resistência à temperatura |
| Componentes estruturais de orientação, vedação e isolamento térmico | Cerâmica de zircônia | Alta resistência e tenacidade |

Cerâmica de alumina de alta pureza: pureza ≥99,9%, atendendo aos requisitos para câmaras de vácuo ultralimpas;
Cerâmica de nitreto de alumínio de alta condutividade térmica: condutividade térmica de até 170–280 W/m·K, auxiliando na otimização de sistemas de controle térmico;
Cerâmica de zircônia de alta tenacidade: utilizada para peças móveis mecânicas e estruturas de fixação de precisão;
Cerâmica de nitreto de silício: combinando alta resistência e baixo coeficiente de expansão térmica, adequada para condições de trabalho complexas.

4. Haikun Precision Ceramics – Um fabricante profissional de componentes cerâmicos para equipamentos semicondutores.
está profundamente envolvida no campo da cerâmica industrial há mais de 20 anos, com foco na pesquisa, desenvolvimento e processamento de componentes estruturais cerâmicos personalizados não padronizados . A empresa segue estritamente o sistema de qualidade ISO9001: 2015 e possui processos de retificação CNC de alta precisão, corte a laser, usinagem CNC e sinterização a vácuo, fornecendo aos clientes da indústria de semicondutores soluções integradas desde a seleção de materiais e otimização estrutural até a produção em massa.
Principais áreas de serviço:
Componentes isolantes cerâmicos, componentes de guia e bases de ventosas para equipamentos semicondutores
Revestimentos de câmaras de vácuo, bandejas transportadoras e componentes de vedação e isolamento térmico
Usinagem de precisão com base em materiais, desenhos e amostras fornecidos
Vantagens da cooperação:
Mais de 5.000 estudos de caso de clientes validados
Própria fábrica de 10.000 metros quadrados, prazo de entrega controlável
A equipe de engenharia técnica fornece otimização de soluções de materiais
