Introduktion
Behöver halvledarindustrin industriell keramik? Svaret är ja! Med den snabba utvecklingen av halvledarindustrin, från wafertillverkning och förpackningstestning till kraftenheter och RF-moduler, ställer driftförhållandena vid hög temperatur, hög effekt och hög frekvens extremt höga krav på material. I dessa kritiska processer har industriell keramik blivit ett oumbärligt material för halvledarutrustning och elektroniska komponenter.
1. Varför är halvledarindustrin oskiljaktig från industriell keramik?
Halvledarutrustning har tre kärnkrav för material:
Stabilitet vid hög temperatur
Högtemperaturmiljöer på 200–800 ℃ påträffas ofta under tillverkningsprocesser.
Industriell keramik tål höga temperaturer utan deformation.
Hög isolering
Halvledare elektronisk styrning och högspänningstestutrustning har stränga isoleringskrav.
Keramik som aluminiumoxid och aluminiumnitrid har en resistivitet så hög som 10¹⁴ Ω·cm.
Värmeledningsförmåga och avledningsförmåga
Högeffektsmoduler kräver effektiv värmeavledning.
Aluminiumnitridkeramik har en värmeledningsförmåga på upp till 170 W/m·K.
Dessutom har industriell keramik också:
Korrosionsbeständighet
Slitstyrka
Precisionsbearbetningsförmåga
Hög dimensionsstabilitet
Dessa egenskaper är svåra att samtidigt möta med traditionella metaller, plaster eller glasmaterial.
2. Industriella keramiska material som vanligtvis används i halvledarindustrin
| Material | karakteristisk | Typiska applikationer |
| Aluminiumoxidkeramik (Al₂O₃) | Hög isolering (>25KV/mm), hög slitstyrka och hög kostnadsprestanda. | Underlag , stödram, isolerande bussning |
| Aluminiumnitridkeramik (AlN) | Hög värmeledningsförmåga (≥170W/MK), isolerande, termiskt anpassat silikonchip | Strömmodulsubstrat, LED-substrat , värmeavledningsstruktur |
| Kiselnitridkeramik (Si₃N₄) | Hög hållfasthet, värmechockbeständig (≥500△T.℃), lättvikt | Höghastighetslager , mekaniska tätningar, precisionsstödkomponenter |
| Zirconia keramik (ZrO₂) | Hög seghet (≥9 MPa·1½), slitstark och slagtålig. |
3. Nyckeltillämpningar av industriell keramik i halvledarutrustning
Wafer tillverkningsutrustning
Högtemperaturugnsfoder, stöd, skjutreglage
Stabil process, termisk chockbeständighet
Power Device Packaging
Keramiska substrat, hög värmeledningsförmåga värmeavledningsstrukturer
Säkerställ säker drift av kraftmoduler
RF- och mikrovågskomponenter
Hög isolering, hög temperatur stabilitet
Styrsignalstabilitet
Test- och automationssystem
Precisionsstyrningar, mekaniska tätningar
Hög slitstyrka, långvarig tillförlitlighet
Förbättrad utrustnings tillförlitlighet: Stabil drift även under hög temperatur och hög belastning
Förlängd livslängd: Slitage- och korrosionsbeständighet minskar utbytesfrekvensen
Förbättrad produktprestanda: Värmeledningsförmåga och isoleringsegenskaper säkerställer stabil drift av kraftenheter
Uppfyller krav på högprecisionsbearbetning: Anpassningsbar för mikrohål, oregelbundna former och precisionsdimensioner
5. Halvledarindustrin måste använda industriell keramik.
Sammanfattningsvis gör halvledarindustrins höga krav på material industriell keramik till en nyckelkomponent:
Det bästa valet för hög temperaturbeständighet, isolering och värmeavledning, slitage- och korrosionsbeständighet och precisionsbearbetning.
Industriell keramik spelar en oersättlig roll i wafertillverkning, förpackning och testning, såväl som kraftmoduler och RF-utrustning.
Vi erbjuder högpresterande industriell keramik för halvledarindustrin, inklusive:
Aluminiumoxidkeramik, aluminiumnitridkeramik, kiselnitridkeramik, zirkoniumoxidkeramik
Anpassade storlekar, mikrohålsbearbetning, oregelbundet formade delar
Precisionsslipning och polering, spegelytbehandling
Prototypframställning av små partier och massproduktion
Om du behöver:
Strömmodulsubstrat
Ugnsstöd för hög temperatur
Precision keramiska strukturella komponenter
Halvledarutrustningsdelar. Kontakta oss nu för skräddarsydda lösningar och offerter!