เซรามิกไนไตรด์เช่นเซรามิกซิลิกอนไนไตรด์ในการเผาจะทำปฏิกิริยากับออกซิเจนในการผลิตซิลิกอนไดออกไซด์ดังนั้นผลิตภัณฑ์ซิลิกอนไนไตรด์คุณภาพดีโดยทั่วไปในบรรยากาศป้องกันของการเผาไนโตรเจนซิลิกอนไนไตรด์
1) การเผาปฏิกิริยา (RS)
การใช้เซรามิก SI3N4 เป็นตัวอย่างการเผาแบบปฏิกิริยา Si3N4 เซรามิกส์คือการผสมผง Si หรือผง Si กับผง Si3N4 และจากนั้น
ก่อนประเทศไนไตรด์ผ่านไนโตรเจนที่ประมาณ 1200 องศาจากนั้นประมวลผลผลิตภัณฑ์ที่ต้องการ ในที่สุดการเผาไนไตรด์สุดท้ายจะดำเนินการประมาณ 1,400 องศา ในกระบวนการนี้ไม่จำเป็นต้องเพิ่มความช่วยเหลือในการเผาดังนั้นความแข็งแรงของวัสดุจะไม่ลดลงอย่างมีนัยสำคัญที่ซิลิไซด์อุณหภูมิสูงไม่มีการหดตัวและสามารถเตรียมผลิตภัณฑ์ที่มีรูปร่างที่ซับซ้อน อย่างไรก็ตามเนื่องจากความหนาแน่นต่ำ (70%-90%) และรูขุมขนจำนวนมากคุณสมบัติเชิงกลจะได้รับผลกระทบอย่างมาก
2) การเผาผลาญบรรยากาศ (PLS)
ความดันในบรรยากาศซิลิกอนไนไตรด์ถูกเตรียมโดยการผสมผงซิลิกอนไนไตรด์ที่มีความบริสุทธิ์สูงเป็นพิเศษ, ผงซิลิคอนไนไตรด์สูงกับความช่วยเหลือในการเผาผลาญเล็กน้อยผ่านการสร้างการเผาและกระบวนการอื่น ๆ ในกระบวนการซินเทอร์การละลายในเฟสของเหลวแล้วตกตะกอนเป็นนิวเคลียสคริสตัล B SI3N4 ซึ่งเอื้อต่อกระบวนการเผา ไนโตรเจนจะต้องถูกฉีดในระหว่างการเผาเพื่อยับยั้งการสลายตัวของ Si3N4 ที่อุณหภูมิสูง เซรามิกที่มีรูปร่างที่ซับซ้อนและประสิทธิภาพที่ยอดเยี่ยมสามารถทำได้โดยการเผาในบรรยากาศ ข้อเสียของมันคืออัตราการหดตัวของการเผานั้นมีขนาดใหญ่โดยทั่วไปโดยทั่วไป 16%~ 26%ซึ่งง่ายต่อการแตกและทำให้เสียรูป