Sinterlemedeki silikon nitrür seramikleri gibi nitrür seramikleri, silikon dioksit üretmek için oksijenle reaksiyona girecek, bu nedenle kaliteli silikon nitrür ürünleri, genellikle azot sinterleme, silikon nitrür sinterlemesi aşağıda açıklandığı gibi, daha fazla yolda, aşağıda açıklandığı gibi:
1) Reaksiyon sinterleme (RS)
SI3N4 seramiklerini örnek olarak alarak, reaktif sinterleme Si3N4 seramikleri Si tozu veya Si tozunu Si3N4 tozu ile karıştırmaktır ve daha sonra
Nitrürden azottan yaklaşık 1200 derecede ön ve daha sonra gerekli ürünleri işleyin. Son olarak, son nitrür sinterleme yaklaşık 1400 derecede gerçekleştirilir. Bu süreçte, sinterleme yardımı eklemeye gerek yoktur, bu nedenle yüksek sıcaklıkta silisitte malzemenin gücü önemli ölçüde azalmayacaktır ve karmaşık şekillerle ürünler hazırlayabilir. Bununla birlikte, düşük yoğunluk (%70-%90) ve çok sayıda gözenek nedeniyle, mekanik özellikler büyük ölçüde etkilenir.
2) Atmosferik sinterleme (PLS)
Atmosferik basınç sinterlenmiş silikon nitrür, yüksek saflık, ultra ince, yüksek fazlı silikon nitrür tozunun şekillendirme, sinterleme ve diğer işlemler yoluyla az miktarda sinterleme yardımı ile karıştırılarak hazırlanır. Sinterleme işleminde, bir sıvı faza çözülür ve daha sonra sinterleme işlemine elverişli B Si3N4 kristal çekirdeğine çökelir. SI3N4'ün yüksek sıcaklıkta ayrışmasını inhibe etmek için sinterleme sırasında azot enjekte edilmelidir. Karmaşık şekle ve mükemmel performansa sahip seramik atmosferik sinterleme ile elde edilebilir. Dezavantajı, sinterlemenin büzülme oranının büyük, genellikle%16 ~%26 olmasıdır, bu da ürünü kırmak ve deforme etmek kolaydır.
