| Başvuru aşaması | Seramik bileşenler | Malzeme türü |
| gofret taşıyıcıları, tepsiler | Alüminyum nitrür ve alümina seramikleri | Yüksek ısı iletkenliği ve yalıtımı |
| Aşındırma/Biriktirme Boşluk Astarı | Silisyum nitrür ve alümina seramikleri | Plazma korozyon direnci |
| Vakum vantuzu (Chuck) | Alümina ve alüminyum nitrür seramikleri | Sağlam, düz ve aşınmaya dayanıklı |
| Elektrostatik adsorpsiyon aşaması (ESC) | Alüminyum nitrür seramikleri | Mükemmel termal iletkenlik |
| Sıcaklık ölçümü ve izolasyon desteği | alümina seramikler | İyi elektrik yalıtımı ve sıcaklık direnci |
| Kılavuz, sızdırmazlık ve ısı yalıtımı yapısal bileşenleri | Zirkonya seramikleri | Yüksek mukavemet ve tokluk |

Yüksek saflıkta alümina seramikler: saflık ≥%99,9, ultra temiz vakum odalarının gereksinimlerini karşılar;
Yüksek termal iletkenliğe sahip alüminyum nitrür seramikler: 170–280 W/m·K kadar yüksek termal iletkenlik, termal kontrol sistemlerinin optimizasyonuna yardımcı olur;
Yüksek tokluğa sahip zirkonya seramikleri: mekanik hareketli parçalar ve hassas kenetleme yapıları için kullanılır;
Silisyum nitrür seramikleri: Karmaşık çalışma koşullarına uygun, yüksek mukavemet ve düşük termal genleşme katsayısını birleştiren.

4. Haikun Precision Ceramics – Yarı iletken ekipmanlara yönelik seramik bileşenlerin profesyonel üreticisi.
Dongguan Haikun New Materials Co., Ltd., 20 yılı aşkın bir süredir endüstriyel seramik alanında derin bir şekilde yer almakta olup, standart dışı özelleştirilmiş seramik yapısal bileşenlerin araştırma, geliştirme ve işlenmesine odaklanmaktadır. Şirket, ISO9001:2015 kalite sistemine sıkı sıkıya bağlı kalmaktadır ve yüksek hassasiyetli CNC taşlama, lazer kesim, CNC işleme ve vakum sinterleme süreçlerine sahip olup, yarı iletken endüstrisi müşterilerine malzeme seçiminden ve yapısal optimizasyondan seri üretime kadar entegre çözümler sunmaktadır.
Ana hizmet alanları:
Yarı iletken ekipmanlar için seramik yalıtım bileşenleri, kılavuz bileşenler ve vantuz tabanları
Vakum odası astarları, taşıyıcı tepsiler ve sızdırmazlık ve ısı yalıtım bileşenleri
Tedarik edilen malzemelere, çizimlere ve örneklere dayalı hassas işleme
İşbirliğinin avantajları:
5000'den fazla müşteri vaka çalışması doğrulandı
Kendi 10.000 metrekarelik fabrikası, kontrol edilebilir teslimat süresi
Teknik mühendislik ekibi malzeme çözümü optimizasyonu sağlıyor
