Dongguan Haikun New Material Co., Ltd.

Dongguan Haikun New Material Co., Ltd.

Mối quan hệ giữa gốm sứ và chất bán dẫn: những anh hùng thầm lặng ủng hộ sự phát triển công nghệ cao.

2025 11/07

1. Tại sao gốm sứ có thể bước vào lĩnh vực bán dẫn?
Quy trình sản xuất chất bán dẫn đòi hỏi mức độ sạch sẽ và ổn định cực kỳ cao. Các bộ phận kim loại dễ bị nhiễm hạt và các bộ phận bằng nhựa không thể chịu được nhiệt độ cao và ăn mòn plasma. Các vật liệu gốm chính xác (như alumina, oxit zirconium, silicon nitride và nhôm nitride) sẽ lấp đầy khoảng trống này một cách hoàn hảo.
Các đặc tính cốt lõi của vật liệu gốm bao gồm:
Cách điện cao: Ngăn chặn rò rỉ dòng điện và đảm bảo truyền tín hiệu ổn định;
Khả năng chịu nhiệt độ cao: Duy trì độ bền kết cấu trong môi trường trên 1600oC (gốm alumina);
Chống ăn mòn: Chống lại khí ăn mòn hóa học và xói mòn plasma;
Độ tinh khiết cao và lượng mưa thấp: Tránh ô nhiễm thứ cấp cho tấm bán dẫn;
Độ chính xác chiều cao: Đáp ứng yêu cầu lắp ráp thiết bị của các quy trình có kích thước nano.
2. Các ứng dụng chính của Gốm sứ trong Sản xuất Chất bán dẫn
Các thành phần gốm hầu như có mặt khắp nơi trong các thiết bị bán dẫn và quy trình sản xuất:
Giai đoạn ứng dụng Linh kiện gốm sứ Loại vật liệu
người vận chuyển wafer, khay Nhôm nitrit và gốm alumina Độ dẫn nhiệt và cách nhiệt cao
Lớp lót khoang khắc/lắng đọng Gốm sứ silicon nitrit và alumina Chống ăn mòn plasma
Cốc hút chân không (Chuck) Gốm sứ nhôm nitrit và nhôm Ổn định, phẳng và chống mài mòn
Giai đoạn hấp phụ tĩnh điện (ESC) Gốm sứ nhôm nitrit Độ dẫn nhiệt tuyệt vời
Hỗ trợ đo nhiệt độ và cách nhiệt gốm sứ alumina Cách điện và chịu nhiệt độ tốt
Các bộ phận kết cấu dẫn hướng, bịt kín và cách nhiệt gốm sứ zirconia

Độ bền và độ dẻo dai cao

Có thể nói, từ các thành phần cốt lõi đến các bộ phận phụ trợ, gốm sứ chính xác chính là “nền tảng kết cấu” cho khả năng vận hành đáng tin cậy của thiết bị bán dẫn.
IMG_E5453
3. "Liên kết sâu" của Gốm sứ và Chất bán dẫn
Khi các quy trình sản xuất chip tiến bộ từ 28nm và 7nm lên 3nm và thậm chí là các nút tiên tiến hơn, các yêu cầu về độ bền, độ sạch và hiệu suất quản lý nhiệt của thiết bị ngày càng trở nên nghiêm ngặt, thúc đẩy sự phát triển không ngừng của vật liệu gốm.

Gốm alumina có độ tinh khiết cao: độ tinh khiết ≥99,9%, đáp ứng yêu cầu về buồng chân không siêu sạch;

Gốm nhôm nitrit dẫn nhiệt cao: độ dẫn nhiệt cao tới 170–280 W/m·K, hỗ trợ tối ưu hóa hệ thống kiểm soát nhiệt;

Gốm zirconia có độ bền cao: được sử dụng cho các bộ phận chuyển động cơ học và cấu trúc kẹp chính xác;

Gốm silicon nitride: kết hợp cường độ cao và hệ số giãn nở nhiệt thấp, phù hợp với điều kiện làm việc phức tạp.

IMG_E4926

4. Haikun Precision Ceramics – Nhà sản xuất linh kiện gốm sứ chuyên nghiệp cho thiết bị bán dẫn.

Công ty TNHH Vật liệu mới Đông Quan Haikun đã tham gia sâu vào lĩnh vực gốm công nghiệp trong hơn 20 năm, tập trung vào nghiên cứu, phát triển và gia công các thành phần kết cấu gốm tùy chỉnh phi tiêu chuẩn. Công ty tuân thủ nghiêm ngặt hệ thống chất lượng ISO 9001: 2015 và sở hữu các quy trình mài CNC, cắt laser, gia công CNC và thiêu kết chân không có độ chính xác cao, cung cấp cho khách hàng ngành công nghiệp bán dẫn các giải pháp tích hợp từ lựa chọn vật liệu và tối ưu hóa cấu trúc đến sản xuất hàng loạt.

Các lĩnh vực dịch vụ chính:

Các bộ phận cách điện bằng gốm, các bộ phận dẫn hướng và đế cốc hút cho thiết bị bán dẫn

Tấm lót buồng chân không, khay vận chuyển, các bộ phận bịt kín và cách nhiệt

Gia công chính xác dựa trên vật liệu, bản vẽ và mẫu được cung cấp

Ưu điểm của hợp tác:

Hơn 5000 nghiên cứu điển hình về khách hàng đã được xác thực

Sở hữu nhà máy 10.000 mét vuông, thời gian giao hàng có thể kiểm soát

Đội ngũ kỹ thuật kỹ thuật cung cấp giải pháp vật liệu tối ưu

Phần kết luận

Sự phát triển của công nghệ bán dẫn phụ thuộc rất nhiều vào sự hỗ trợ của vật liệu gốm sứ.
Từ “vai trò hỗ trợ vô hình” đến “trụ cột chủ chốt”, gốm sứ chính xác đang âm thầm thúc đẩy mọi bước đột phá trong sản xuất chip.
Và Haide Precision Ceramics sẽ tiếp tục đóng góp vào sự đổi mới bền vững và hoạt động đáng tin cậy của ngành công nghiệp bán dẫn với các thành phần gốm hiệu suất cao.