| Giai đoạn ứng dụng | Linh kiện gốm sứ | Loại vật liệu |
| người vận chuyển wafer, khay | Nhôm nitrit và gốm alumina | Độ dẫn nhiệt và cách nhiệt cao |
| Lớp lót khoang khắc/lắng đọng | Gốm sứ silicon nitrit và alumina | Chống ăn mòn plasma |
| Cốc hút chân không (Chuck) | Gốm sứ nhôm nitrit và nhôm | Ổn định, phẳng và chống mài mòn |
| Giai đoạn hấp phụ tĩnh điện (ESC) | Gốm sứ nhôm nitrit | Độ dẫn nhiệt tuyệt vời |
| Hỗ trợ đo nhiệt độ và cách nhiệt | gốm sứ alumina | Cách điện và chịu nhiệt độ tốt |
| Các bộ phận kết cấu dẫn hướng, bịt kín và cách nhiệt | gốm sứ zirconia | Độ bền và độ dẻo dai cao |

Gốm alumina có độ tinh khiết cao: độ tinh khiết ≥99,9%, đáp ứng yêu cầu về buồng chân không siêu sạch;
Gốm nhôm nitrit dẫn nhiệt cao: độ dẫn nhiệt cao tới 170–280 W/m·K, hỗ trợ tối ưu hóa hệ thống kiểm soát nhiệt;
Gốm zirconia có độ bền cao: được sử dụng cho các bộ phận chuyển động cơ học và cấu trúc kẹp chính xác;
Gốm silicon nitride: kết hợp cường độ cao và hệ số giãn nở nhiệt thấp, phù hợp với điều kiện làm việc phức tạp.

4. Haikun Precision Ceramics – Nhà sản xuất linh kiện gốm sứ chuyên nghiệp cho thiết bị bán dẫn.
Công ty TNHH Vật liệu mới Đông Quan Haikun đã tham gia sâu vào lĩnh vực gốm công nghiệp trong hơn 20 năm, tập trung vào nghiên cứu, phát triển và gia công các thành phần kết cấu gốm tùy chỉnh phi tiêu chuẩn. Công ty tuân thủ nghiêm ngặt hệ thống chất lượng ISO 9001: 2015 và sở hữu các quy trình mài CNC, cắt laser, gia công CNC và thiêu kết chân không có độ chính xác cao, cung cấp cho khách hàng ngành công nghiệp bán dẫn các giải pháp tích hợp từ lựa chọn vật liệu và tối ưu hóa cấu trúc đến sản xuất hàng loạt.
Các lĩnh vực dịch vụ chính:
Các bộ phận cách điện bằng gốm, các bộ phận dẫn hướng và đế cốc hút cho thiết bị bán dẫn
Tấm lót buồng chân không, khay vận chuyển, các bộ phận bịt kín và cách nhiệt
Gia công chính xác dựa trên vật liệu, bản vẽ và mẫu được cung cấp
Ưu điểm của hợp tác:
Hơn 5000 nghiên cứu điển hình về khách hàng đã được xác thực
Sở hữu nhà máy 10.000 mét vuông, thời gian giao hàng có thể kiểm soát
Đội ngũ kỹ thuật kỹ thuật cung cấp giải pháp vật liệu tối ưu
